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電子工業(yè)用水制備方案
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發(fā)布時間:2008-12-12
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【中文關鍵詞】 | 電子工業(yè)用水 制備方案 工藝流程 應用場合   |
【摘要】 | 本文介紹了電子工業(yè)用水制備方案,工藝流程和應用場合。 |
【部分正文預覽】 | (水質符合美國ASTM標準,電子部超純水水質標準(18MΩ*cm,15MΩ*cm,2MΩ*cm和0.5MΩ*cm四級)
●預處理-反滲透- 水箱-陽床-陰床-混合床-純化水箱-純水泵-紫外線殺菌器-精制混床-精密過濾器-用水點 ●預處理-一級反滲透-加藥機(PH調節(jié))-中間水箱-第二級反滲透(正電荷反滲膜)-純化水箱-純水泵-紫外線殺菌器-0.2或0.5μm精密過濾器-用水點 ●預處理-二級反滲透-中間水箱-水泵-EDI裝置-純化水箱-純水泵-紫外線殺菌器-0.2或0.5μm精密過濾器-用水對象 ●預處理-二級反滲透-中間水箱-水泵-EDI裝置-純化水箱-純水泵-紫外線殺菌器-精制混床-0.2或0.5μm精密過濾器-用水點 應用場合 · 半導體材料、器件、印刷電路板和集成電路; · 超純材料和超純化學試劑; · 實驗室和中試車間 · 汽車、家電表面拋光處理; · 其他高科技精微產(chǎn)品。
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