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兆位電路與高純水 |
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| 【中文關(guān)鍵詞】 | 高純水 集成電路 材料 |
| 【摘要】 | 本文介紹了兆位電路與高扼水的關(guān)系，集成電路對水質(zhì)的要求，以廈降低水中TOC(總有機(jī)炭)的措施，井介紹7用于高純水制違的PVDF(聚編氟乙烯)新型材料的·l生能,以廈用臭氧殺菌等技術(shù)。 |
| 【部分正文預(yù)覽】 | 作為現(xiàn)代發(fā)達(dá)國家經(jīng)濟(jì)發(fā)展的重要支柱之一— — 集成電路產(chǎn)業(yè)， 發(fā)展十分迅速。 |
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