超純水制造系統(tǒng)中關于TOC的去除、檢測和控制管理 |
文件大�。�0.19MB格式：rar發(fā)布時間：2012-06-25瀏覽次數：次
| 【中文關鍵詞】 | TOC 去除 檢測 控制管理 |
| 【摘要】 | 就半導體工廠超純水制造系統(tǒng)中的一個重要污染物TOC進行了比較全面的分析和說明,闡述了超純水制造系統(tǒng)中TOC的來源、去除方法、檢測手段以及控制管理,對半導體工廠的制水管理人員有很好的借鑒作用。 |
| 【部分正文預覽】 | 就半導體工廠超純水制造系統(tǒng)中的一個重要污染物TOC進行了比較全面的分析和說明,闡述了超純水制造系統(tǒng)中TOC的來源、去除方法、檢測手段以及控制管理,對半導體工廠的制水管理人員有很好的借鑒作用。 |
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