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多孔Al2O3陶瓷膜的修飾及其蒸汽分離性能的研究

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【中文關(guān)鍵詞】多孔陶瓷膜  γ-Al2O3  化學氣相淀積  縮孔修飾  蒸汽分離  
【摘要】采用原子層控制生長化學氣相淀積方法對多孔γ -Al2 O3陶瓷膜進行縮孔修飾研究 .
【部分正文預覽】

采用原子層控制生長化學氣相淀積方法對多孔γ -Al2 O3陶瓷膜進行縮孔修飾研究 .多孔陶瓷膜表層孔中淀積的Al2 O3大大減小了薄膜的孔徑 .用縮孔修飾后的γ -Al2 O3陶瓷膜進行水蒸氣分離實驗 ,獲得極好的分效果 ,相對濕度為 12 %時 ,水蒸氣與氧氣的分離系數(shù)達到 71.

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