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高純水與紫外線殺菌技術

文件大小：0.32MB格式：pdf發布時間：2008-12-29瀏覽次數：次
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【文獻出處】中國電子工程設計院
【中文關鍵詞】電子工廠  高純水  紫外線殺菌技術  
【摘要】紫外線殺菌裝置在電子工業高純水制造工藝中得到廣泛應用。本文對紫外線殺菌原理、殺菌效果的影響因素、殺菌裝置的構造等方面進行了討論,并介紹了近年來開發的箱內浸水式殺菌裝置。
【部分正文預覽】

       紫外線殺菌裝置在電子工業高純水制造工藝中得到廣泛應用。本文對紫外線殺菌原理、殺菌效果的影響因素、殺菌裝置的構造等方面進行了討論,并介紹了近年來開發的箱內浸水式殺菌裝置。

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