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芯片生產(chǎn)廢水處理技術(shù)探討 |
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| 【中文關(guān)鍵詞】 | 芯片生產(chǎn)廢水 氟 氨 設(shè)備選型 |
| 【摘要】 | 通過實地調(diào)研,結(jié)合工程經(jīng)驗,采用比較分析的方法,就芯片生產(chǎn)廢水中典型的含氨廢水、含氟廢水、研磨廢水和酸堿廢水的處理分別給出了較優(yōu)的處理工藝流程,即濃氨吹脫—兩段沉淀—三級酸堿中和處理工藝,其處理效果較好,將含氟廢水與CMP研磨廢水混合處理可節(jié)省投資。 |
| 【部分正文預覽】 | 通過實地調(diào)研,結(jié)合工程經(jīng)驗,采用比較分析的方法,就芯片生產(chǎn)廢水中典型的含氨廢水、含氟廢水、研磨廢水和酸堿廢水的處理分別給出了較優(yōu)的處理工藝流程,即濃氨吹脫—兩段沉淀—三級酸堿中和處理工藝,其處理效果較好,將含氟廢水與CMP研磨廢水混合處理可節(jié)省投資。同時,介紹了設(shè)備選型中應注意的問題。 |
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