介紹采用三級反應一級沉淀為主體工藝,處理集成電路產業含氟廢水的實際應用情況和工程治理效果。實踐表明,采用本處理技術,能確保出水水質氟離子濃度達到上海市《污水綜合排放標準》(DB31/199-1997)的二級標準,即F^-濃度≤10mg/L。