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反滲透—離子交換法制高純水
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發(fā)布時(shí)間：2011-01-26
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| 【中文關(guān)鍵詞】 | 兩種方法 高純水 反滲透技術(shù) 離子交換法 半導(dǎo)體 電滲析 生物微粒 電阻率 |
| 【摘要】 | 目前我國大多數(shù)半導(dǎo)體廠都沿用40年代的離子交換法制純水,有一些工廠采用了電滲析—離子交換法制高純水,但這兩種方法都無法除去水中中性微粒及微生物微粒,即使水的電阻率很高,而留在水中的這些微粒仍然沾污半導(dǎo)體,使器件質(zhì)量下降。 |
| 【部分正文預(yù)覽】 | 目前我國大多數(shù)半導(dǎo)體廠都沿用40年代的離子交換法制純水,有一些工廠采用了電滲析—離子交換法制高純水,但這兩種方法都無法除去水中中性微粒及微生物微粒,即使水的電阻率很高,而留在水中的這些微粒仍然沾污半導(dǎo)體,使器件質(zhì)量下降。60年代初反滲透技術(shù)問世,而70年代初美國95％以上的半導(dǎo)體廠都采用反滲透—離子交換法制高純水。這種方法能把5微米以上的中性微粒全部除去,把95％ |
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