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半導(dǎo)體芯片廠超純水

文件大小： 格式： 發(fā)布時(shí)間：2008-12-15 瀏覽次數(shù)：次
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【中文關(guān)鍵詞】 半導(dǎo)體芯片廠  超純水  案例  
【摘要】 本文介紹了半導(dǎo)體芯片廠超純水的案例。
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半導(dǎo)體芯片廠超純水

 TOC<10ppb

 顆粒度（PARTICLE）達(dá)0.5um≤200PCS/L

 二氧化硅SiO2<5ppb

 電阻率≥18MΩ.cm(25℃)

 采用高純度PVDF管路

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