電容式差壓傳感器(專利產(chǎn)品)
信息發(fā)布：沈陽市傳感技術(shù)研究所
發(fā)布時(shí)間：2008-4-10
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電容式差壓傳感器，是以平行板式電容器為原理的傳感器。我們采用懸浮式電容體，加外保護(hù)膜片充填絕緣介質(zhì)結(jié)構(gòu)。整體全焊接。在電容體設(shè)計(jì)、加工、充填介質(zhì)等方面，有專利和獨(dú)有技術(shù)，以保證產(chǎn)品品質(zhì)。與國(guó)內(nèi)外同類產(chǎn)品相比，占有技術(shù)、成本的絕對(duì)優(yōu)勢(shì)。現(xiàn)有幾何規(guī)格供應(yīng)市場(chǎng)。
擴(kuò)散硅傳感器
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主要用于制造變送器，其中包括壓力、絕對(duì)壓力、差壓(流量)、液位變送器及壓力開關(guān)。
利用單晶硅的各向異性，在n型基底上，選擇不同的晶向，擴(kuò)散成P型電阻，組成惠斯頓電橋，利用P-n結(jié)實(shí)現(xiàn)各電阻之間的電隔離。在基底的非電阻面加工出一定幾何形狀的應(yīng)力杯。當(dāng)有壓力作用于應(yīng)力杯一面時(shí)，用恒壓或恒流源激勵(lì)的惠斯頓
橋輸出一定的電壓值。從而實(shí)現(xiàn)壓力的感知。
硅杯必須實(shí)現(xiàn)良好的封裝才能正常使用。我們將硅杯與傳感器外殼實(shí)現(xiàn)懸浮靜電/硬封結(jié)構(gòu)，除絕對(duì)壓力外，全部實(shí)現(xiàn)雙蟆片隔離，雙面充隔離介質(zhì)，全焊接。.目的，實(shí)現(xiàn)正反面隔離介質(zhì)受溫度影響對(duì)稱變化，即實(shí)現(xiàn)熱膨脹互補(bǔ)。同時(shí)防止測(cè)量低溫介質(zhì)時(shí)的結(jié)露問題。從而實(shí)現(xiàn)了小型傳感器高可靠性。
技術(shù)指標(biāo)
使用溫區(qū): －55～80℃
線性誤差: ±0.5％±0.2％:±0.1％F.S
零點(diǎn)輸出: -1mV輸出信號(hào): ≥60mV～200mV
橋路阻值: 4.5Kn±500n
零點(diǎn)溫漂: ≤0.05％/℃(F.S)
靈敏度溫漂:≤0.05％/℃(F.S)
過量程上限:滿量程的1.5倍
供 電: 1mA.DC
量程額定范圍:0-1KPa至0-100MPa
機(jī)械尺寸
最大直徑:42mm最大高度:最大高度:30mm
最小直徑:19mm
最小高度:l0+引線長(zhǎng)20mm
其它洋見使用說明書。
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